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Works / 03

ウェハー搬送アーム部品

半導体製造装置メーカー向け / A5052 / ±10μm / 月産50個
1,200mm超の長尺アルミ材を、同時5軸マシニングで高精度加工。

1200 × 900製品 メイン画像

製品概要

300mmウェハー搬送装置に組み込まれる大型アーム部品。アルミ5052材の大物加工で、長尺かつ高精度を要求される難加工案件。同時5軸マシニングと独自の歪み対策工程で対応しています。

難所と対策

  • 大型ストローク(1,200mm超)の高精度加工
  • クリーンルーム対応の脱脂・梱包
  • 材料反り・歪みを抑える独自工程

スペック

業界半導体
クライアント半導体製造装置メーカー
材質A5052
精度±10μm
ロット月産50個
主な工程マシニング加工(同時5軸)
使用設備DMG森精機 NMV5000 / ヤマザキマザック VTC-300
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